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薄膜厚度測量方法
發(fā)布日期：2018-11-13    點擊次數(shù)：10055次    
薄膜厚度測量方法

　　顯微鏡法：采用顯微鏡檢測橫斷面，以測量薄膜局部厚度的方法。一般厚度檢測需要大于1um，才能保證測量結果在誤差范圍之內；厚度越大，誤差越小。

　　原理：利用顯微鏡原理，對厚度截面進行放大，以便準確的觀測及測量。

　　對樣品的要求：由于顯微鏡法測樣品的厚度為局部厚度，對于一些厚度不一致的樣品，需要指定具體的部位。如沒有特殊要求，一般取一個較均勻的部位進行測量。


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